蚀刻液,是一种铜版画雕刻用原料。

通过侵蚀材料的特性来进行雕刻的一种液体。从理论上讲,凡能氧化钢而生成可溶性铜盐的试剂,都可以用来蚀刻敷铜箔板,但权衡对抗蚀层的破坏情况、蚀刻速度,蚀刻系数、溶铜容量、溶液再生及铜的回收、环境保护及经济效果等方面。

产品分类

已经使用的蚀刻液类型有六种类型:酸性氯化铜、碱性氯化铜、三氯化铁过硫酸铵、硫酸/铬酸、硫酸/过氧化氢蚀刻液。

酸性氯化铜,工艺体系,根据添加不同的氧化剂又可细分为盐酸氯化铜+空气体系、盐酸氯化铜+氯酸钠体系、盐酸氯化铜+双氧水体系三种蚀刻工艺,在生产过程中通过补加盐酸+空气、盐酸+氯酸钠、盐酸+双氧水和少量的添加剂来实现线路板板的连续蚀刻生产。

配制原料

氟化铵:分子式为NHF,白色晶体,易潮解,易溶于水和甲醇,较难溶于乙醇,能升华,在蚀刻液中起腐蚀作用,一般选用工业产品。

草酸:在蚀刻液中作还原剂使用,一般选用工业产品。

硫酸钠:在蚀刻液中作为填充剂使用,一般选用工业产品。

氢氟酸:即氟化氢水溶液,为无色液体,能在空气中发烟,有强烈腐蚀性和毒性,能侵蚀玻璃,需贮存于铅制、蜡制或塑料容器中,可作为蚀刻玻璃的主要原料,一般选用工业品。

硫酸:纯品为无色油状液体,含杂质时呈黄、棕等色。用水稀释时,应将硫酸慢慢注入水中,并随时搅和,而不能将水倒入浓硫酸中,以防浓硫酸飞溅而引发事故,可作为腐蚀助剂,一般选用工业品。

硫酸铵:一般选用工业品。

丙三醇:一般选用工业品。

⑧水:自来水。

产品配方

①热水12g,化15g,草酸8g,硫酸铵10g,甘油40g,硫酸15g;

②氟化铵15g,草酸7g,硫酸铵8g,硫酸钠14g,甘油35g,水10g;

氢氟酸60(体积数,下同),硫酸10,水30。

配制方法

配制蚀刻液①和②时,将上述原料与60℃热水混合,搅拌均匀即可。配置时不要使溶液溅到皮肤上,而且操作时应戴上口罩。配制蚀刻液③时,按配方将氢氟酸和硫酸混合,然后将混合液倒入水中(不能将水倒入混合液),并不断搅拌。

使用方法

使用刻蚀液①或②时,把要蚀刻的玻璃洗净、晾干,最好用电炉或红外线灯将玻璃稍微加热,以便于蚀刻。蚀刻时,用毛笔蘸蚀刻液书写文字或图案于玻璃上,2 min蚀刻工作即完成。制作毛玻璃时,将玻璃洗净、晾干,用刷子均匀涂上腐蚀液即可。

产品种类特点

酸性氯化铜蚀刻液

1) 蚀刻机理: Cu+CuCl→CuCl

CuCl+4Cl→2(CuCl)

2) 影响蚀刻速率的因素:影响蚀刻速率的主要因素是溶液中Cl、Cu、Cu的含量及蚀刻液的温度等。

a、Cl含量的影响:溶液中氯离子浓度与蚀刻速率有着密切的关系,当盐酸浓度升高时,蚀刻时间减少。在含有6N的HCl溶液中蚀刻时间至少是在水溶液里的1/3,并且能够提高溶铜量。但是,盐酸浓度不可超过6N,高于6N盐酸的挥发量大且对设备腐蚀,并且随着酸浓度的增加,氯化铜溶解度迅速降低。

添加Cl可以提高蚀刻速率的原因是:在氯化铜溶液中发生铜的蚀刻反应时,生成的CuCl不易溶于水,则在铜的表面形成一层氯化亚铜膜,这种膜能够阻止反应的进一步进行。过量的Cl能与CuCl络合形成可溶性的配位化合物(CuCl),从铜表面上溶解下来,从而提高了蚀刻速率

b、Cu含量的影响:根据蚀刻反应机理,随着铜的蚀刻就会形成一价铜离子。较微量的Cu就会显著的降低蚀刻速率。所以在蚀刻操作中要保持Cu+的含量在一个低的范围内。

c、Cu含量的影响:溶液中的Cu2+含量对蚀刻速率有一定的影响。一般情况下,溶液中Cu浓度低于2mol/L时,蚀刻速率较低;在2mol/L时速率较高。随着蚀刻反应的不断进行,蚀刻液中铜的含量会逐渐增加。当铜含量增加到一定浓度时,蚀刻速率就会下降。为了保持蚀刻液具有恒定的蚀刻速率,必须把溶液中的含铜量控制在一定的范围内。

d、温度对蚀刻速率的影响:随着温度的升高,蚀刻速率加快,但是温度也不宜过高,一般控制在45~55℃范围内。温度太高会引起HCl过多地挥发,造成溶液组分比例失调。另外,如果蚀刻液温度过高,某些抗蚀层会被损坏。

碱性氯化铜蚀刻液

1) 蚀刻机理: CuCl+4NH→Cu(NH)4Cl

Cu(NH)4Cl+Cu→2Cu(NH)2Cl

2) 影响蚀刻速率的因素:蚀刻液中的Cu浓度、pH值、氯化铵浓度以及蚀刻液的温度对蚀刻速率均有影响。

a、Cu离子浓度的影响:Cu是氧化剂,所以Cu的浓度是影响蚀刻速率的主要因素。研究铜浓度与蚀刻速率的关系表明:在0~82g/L时,蚀刻时间长;在82~120g/L时,蚀刻速率较低,且溶液控制困难;在135~165g/L时,蚀刻速率高且溶液稳定;在165~225g/L时,溶液不稳定,趋向于产生沉淀。

b、溶液pH值的影响:蚀刻液的pH值应保持在8.0~8.8之间,当pH值降到8.0以下时,一方面对金属抗蚀层不利;另一方面,蚀刻液中的铜不能被完全络合成铜氨配位化合物,溶液要出现沉淀,并在槽底形成泥状沉淀,这些泥状沉淀能在加热器上结成硬皮,可能损坏加热器,还会堵塞泵和喷嘴,给蚀刻造成困难。如果溶液pH值过高,蚀刻液中氨过饱和,游离氨释放到大气中,导致环境污染;同时,溶液的pH值增大也会增大侧蚀的程度,从而影响蚀刻的精度。

c、氯化铵含量的影响:通过蚀刻再生的化学反应可以看出:[Cu(NH)]的再生需要有过量的NH和NHCl存在,如果溶液中缺乏NHCl,大量的[Cu(NH)]得不到再生,蚀刻速率就会降低,以致失去蚀刻能力。所以,氯化铵的含量对蚀刻速率影响很大。随着蚀刻的进行,要不断补加氯化铵。

d、温度的影响:蚀刻速率与温度有很大关系,蚀刻速率随着温度的升高而加快。蚀刻液温度低于40℃,蚀刻速率很慢,而蚀刻速率过慢会增大侧蚀量,影响蚀刻质量;温度高于60℃,蚀刻速率明显增大,但NH的挥发量也大大增加,导致污染环境并使蚀刻液中化学组分比例失调。故温度一般控制在45~55℃为宜。

三氯化铁蚀刻液

1) 蚀刻机理: FeCl+Cu→FeCl+CuCl

FeCl+CuCl→FeCl+CuCl

CuCl+Cu→2CuCl

2) 影响蚀刻速率的因素:

a、Fe浓度的影响:Fe的浓度对蚀刻速率有很大的影响。蚀刻液中Fe浓度逐渐增加,对铜的蚀刻速率相应加快。当所含超过某一浓度时,由于溶液粘度增加,蚀刻速率反而有所降低。

b、蚀刻液温度的影响:蚀刻液温度越高,蚀刻速率越快,温度的选择应以不损坏抗蚀层为原则,一般在40~50℃为宜。

c、盐酸添加量的影响:在蚀刻液中加入盐酸,可以抑制FeCl水解,并可提高蚀刻速率,尤其是当溶铜量达到37.4g/L后,盐酸的作用更明显。但是盐酸的添加量要适当,酸度太高,会导致液态光致抗蚀剂涂层的破坏。

d、蚀刻液的搅拌:静止蚀刻的效率和质量都是很差的,原因是在蚀刻过程中在板面和溶液里会有沉淀生成,而使溶液呈暗绿色,这些沉淀会影响进一步的蚀刻。

过硫酸铵蚀刻液

蚀刻机理: Cu+(NH)2SO→CuSO+(NH)2SO

(NH)2SO+HO→HSO+(NH)2SO+(O)

Cu+(O) + HSO→CuSO+HO

若添加银作为催化剂, Ag+ SO→2SO+ Ag

Ag+Cu→Cu+ Ag

参考资料