片状氧化铝所属现代词,指的是一种基本上无团粒、粉末或碎片的新型片状氧化铝。
片状氧化铝
发
明人
塞尔斯R·锡伯特;爱特华L·格拉文;Jr.
地址
美国马省
概述
本发明提供一种基本上无团粒、粉末或碎片的新型片状氧化铝。本产品证实对用在微电子学应用方面的基片的抛光非常有利,同时也揭示了制备这类产品的方法。
要害点
一种片状氧化铝粉,其特征在于主要由具有直径为3至20微米的个别正面体片状氧化铝颗粒组成,它基本上没有团粒和细粒且所含片状氧化铝颗粒的片断小于5%。
片状氧化铝所属现代词,指的是一种基本上无团粒、粉末或碎片的新型片状氧化铝。
发
明人
塞尔斯R·锡伯特;爱特华L·格拉文;Jr.
地址
美国马省
本发明提供一种基本上无团粒、粉末或碎片的新型片状氧化铝。本产品证实对用在微电子学应用方面的基片的抛光非常有利,同时也揭示了制备这类产品的方法。
一种片状氧化铝粉,其特征在于主要由具有直径为3至20微米的个别正面体片状氧化铝颗粒组成,它基本上没有团粒和细粒且所含片状氧化铝颗粒的片断小于5%。